擺動閥雙動式VFR 系列 VFR-400 ULVAC
特點 ULVAC**的技術 采用獨特的密封機構和反向壓力消除機構,不是使用機械鎖定機構。 極少采用會導致partical產生的滑動部件 在打開/關閉或密封時幾乎沒有沖擊(振動) 良好的維護性 無需從設備或泵上拆下整個閥門即可單獨拆下閥殼 可以在殼體移除后,僅移除一個螺栓來移除整個閥體單元 可任意選擇安裝方向 VFR系列安裝方向360度自由 用途 大型顯示制造設備 有機EL制造設備 其他真空設備的主閥?分閥 規(guī)格
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