ULVAC 濺射工藝 CGM2-051
特點 適用于各種濺射系統(tǒng)的工藝監(jiān)控 Air Leak監(jiān)控 殘留水分管理 無需差動排氣系統(tǒng)（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar） 內置顯示屏：無需PC可單獨操作使用 可進行高靈敏度泄漏測試（CGM2-052） 可進行全壓測定 操作簡單-One Click功能 標配Qulee QCS軟件 支持CE標準 用途 適用于濺射設備的殘余氣體分析、工藝監(jiān)控和雜質管理(H2O)。 用于濺射設備的泄漏測試。 規(guī)格
M/△M=1M(10% P.H.)
上海巖瀨國際貿易有限公司 Tel：021-63333-365 Fax：021-63333-367 Add：上海市松江區(qū)滬亭北路199弄九亭中心5號樓811室 Email：sh@iwase365.com