金屬膜用EB槍
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產(chǎn)品名稱:
金屬膜用EB槍
產(chǎn)品型號(hào):
EGL-103S
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ULVAC 金屬膜用EB槍 EGL-103S
EGL-103S型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實(shí)際成果，為提高性能和可靠性而開(kāi)發(fā)。
擁有*大輸入功率6kW的直動(dòng)型3點(diǎn)切換式蒸發(fā)舟。
坩堝容量為10cc3個(gè)，適用于超高真空的實(shí)驗(yàn)、小規(guī)模生產(chǎn)。
金屬膜用EB槍
的詳細(xì)介紹
ULVAC 金屬膜用EB槍 EGL-103S
特點(diǎn)
采用直接作用型的10cc三點(diǎn)切換坩堝，適用于超高真空的小規(guī)模生產(chǎn)。
由于電子束被電磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn)，二次電子對(duì)成膜體的影響非常小。
即使是升華材料，掃描X軸和Y軸上的束斑也可以消除點(diǎn)蝕現(xiàn)象并可以順利蒸發(fā)。（日本**831485號(hào).843447號(hào)）
電子束270°偏轉(zhuǎn)，燈絲不會(huì)從蒸發(fā)材料暴露，因此壽命很長(zhǎng)。
發(fā)射器組件易于拆開(kāi)，更換燈絲，絕緣體等非常容易。
規(guī)格