ULVAC RF電源選配件 EXN2T-40A
特點(diǎn)
可以切換匹配器的輸出。
不需要為每個(gè)陰極單獨(dú)安裝匹配器,大幅降低了設(shè)備成本。
有兩種類型的切換方式:手動(dòng)和電機(jī)驅(qū)動(dòng)。 此外,我們還準(zhǔn)備了對(duì)應(yīng)更高功率的水冷系統(tǒng)。
還可以作為DC電源,DC電源輸出切換器使用。
只有一個(gè)匹配器,不能超出匹配范圍的負(fù)荷下使用。
規(guī)格
規(guī)格
水冷目標(biāo)更換器 規(guī)格
EXN2T-70W
EXN3T-70W
EXN4T-70W
EXN2M-70W
EXN3M-70W
EXN4M-70W
切換接點(diǎn)數(shù)
2個(gè)
3個(gè)
4個(gè)
2個(gè)
3個(gè)
4個(gè)
熱開關(guān)
不可
使用頻率
DC-13.56MHz
額定傳導(dǎo)電流
70A
耐電壓
接點(diǎn)間 AC 10kV 1分(50/60Hz)
接點(diǎn)-GND間 AC 10kV 1分(50/60Hz)
切換方式
手動(dòng)式
電動(dòng)式
電機(jī)額定功率
DC24V
電機(jī)額定電流
0.22A (0.75Amax)
接點(diǎn)位置輸出
微動(dòng)開關(guān)(接點(diǎn)容量 0.25A 24VDC)
冷卻方式
水冷
冷卻流量
5L/min
耐圧
0.5MPa
適配
3/8inch N2管接頭
高頻連接用端子
O4mm螺栓
安裝現(xiàn)場(chǎng)溫度
5℃~35℃
安裝現(xiàn)場(chǎng)濕度
30%~80% (不結(jié)露)
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